IT审计的出处源自60年代IBM出版的《Audit encounters Electronic Data Processing》等有关在EDI环境下进行审核和组织的论述。不久后有关该方面的研究结果不断涌现, IT审计的雏形初步形成。但是由于信息系统在社会上尚未得到较为广泛的应用,因此IT审计并未在社会上形成意识。
七十年代中后期到八十年代初由于计算机在发达国家的企业初步普及,利用计算机犯罪和计算机系统失效的事件频频出现,使得IT审计日益得到社会重视,美国、日本先后成立了IT审计方面的协会组织。从事对IT审计规则的制定和实施指导。值得注意的是1985年日本政府出台了《IT审计标准》并根据美国劳工部的《Skill Start》和Northwest Center for Emerging Technologies(NCET)对IT信息人员的从业技能的要求制订了IT审计师(系统监查员)的技能标准并以之作为新的"IT审计师(系统监查员)"级考试的参考标准。